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Effect of Nano-Ni Catalyst on the Growth and Characterization of Diamond Films by HFCVDEfecto del catalizador Nano-Ni en el crecimiento y caracterización de películas de diamante por HFCVD

Resumen

Se utilizaron cuatro catalizadores diferentes, semilla de nanodiamante, nano-Ni, polvo de diamante y mezcla de polvo de nano-Ni/diamante, para activar obleas de Si para el crecimiento de películas de diamante mediante CVD con filamento caliente (HFCVD). Se demostró que los cristales de diamante crecían directamente tanto sobre el polvo de diamante grande como sobre la semilla de nanodiamante pequeña, pero se observó una mejor cristalinidad de la película de diamante sobre el sustrato de Si sembrado con nanodiamante ultrasónico. Por otra parte, los nanocatalizadores de nano-Ni parecen promover la formación de carbono amorfo, pero suprimen las fases de transpoliacetileno (t-PA) en el crecimiento inicial de las películas de diamante. La posterior nucleación y crecimiento de cristales de diamante sobre la capa de carbono amorfo conduce a la generación de partículas esféricas de diamante y clusters antes de la coalescencia en películas continuas de diamante basadas en el mecanismo de adición de CH3, tal y como se caracteriza mediante técnicas XRD, Raman, ATR/FT-IR, XPS, TEM, SEM y AFM. Por otra parte, es bastante significativa la reducción del 36% en la rugosidad superficial de la película de diamante asistida por el catalizador nano-Ni.

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