Resumen

Se prepararon películas de titanato de zinc (ZnTiO3) dopadas con Mg mediante pulverización catódica por magnetrón de RF. El recocido posterior de las películas depositadas se realizó a una temperatura de 600 a 900∘C durante 2 horas con una velocidad de calentamiento de 5∘C/min en aire. Se observó que las películas depositadas eran amorfas y contenían un 2,77% de magnesio. Esto se confirmó además por el inicio de la cristalización que tuvo lugar a temperaturas de recocido de 600∘C. Los resultados mostraron que existía una única fase Zn2Ti3O8 a 600∘C. Cuando el recocido se realiza a 700∘C, los resultados revelan que se observa principalmente una fase hexagonal ZnTiO3 acompañada de una fase menor Zn2Ti3O8. Cuando el recocido es a 900∘C, los resultados mostraron que la fase ZnTiO3 hexagonal única es estable a 900∘C. Esto significa que la fase ZnTiO3 que no contiene Mg es inestable a 900∘C y se descompone de ZnTiO3 hexagonal a Zn2TiO4 cúbico y TiO2 rutilo a 900∘C. Además, se investigó el efecto de la presión parcial de oxígeno de las películas depositadas sobre las transformaciones de fase y las microestructuras de la película delgada de titanitas de zinc.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanotubos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanotubes
• Palabras claves:películas, resultados, fase única hexagonal zntio3, fase menor zn2ti3o8, fase hexagonal zntio3, fase única zn2ti3o8, recocido, magnetrón rf, recocido posterior, fase zntio3
• Keywords:films, results, single hexagonal zntio3 phase, zn2ti3o8 minor phase, hexagonal zntio3 phase, single zn2ti3o8 phase, annealing, rf magnetron, subsequent annealing, zntio3 phase