Resumen

Este artículo describe la fabricación y caracterización de fotodetectores ultravioleta (UV) basados en contactos óhmicos utilizando electrodos de Pt sobre una película delgada epitaxial de ZnO (0002). Se empleó un sistema de deposición química en fase vapor mejorado por plasma (PECVD) para depositar películas delgadas de ZnO (0002) sobre sustratos de silicio, y se utilizó pulverización catódica por magnetrón de radiofrecuencia (RF) para depositar el electrodo superior de Pt sobre las películas delgadas de ZnO. A continuación, las muestras de nanocapas de Pt/ZnO depositadas se recocieron a 450∘C en dos ambientes diferentes (argón y nitrógeno) para obtener contactos óhmicos óptimos. La estructura cristalina, la morfología superficial, las propiedades ópticas y la humectabilidad de las películas finas de ZnO se analizaron mediante difracción de rayos X (DRX), microscopía electrónica de barrido de emisión de campo (FE-SEM), microscopía de fuerza atómica (AFM), fotoluminiscencia (PL), espectrofotómetro UV-Vis-NIR y medidor del ángulo de contacto, respectivamente. Además, también se investigó la fotoconductividad de las nanocapas de Pt/ZnO para su aplicación como fotodetectores UV. Los resultados anteriores mostraron que la muestra óptima de ZnO se sintetizó con una relación de flujo de gas de 1 :3 de dietilzinc [DEZn, Zn(C2H5)2] a dióxido de carbono (CO2) y, a continuación, se combinó con un electrodo de Pt recocido a 450∘C en ambiente de argón, mostrando una buena cristalinidad, así como fotoresponsabilidad UV.

• Materias:Energía solar Fotoquímica Fotocatálisis Nanoestructuras Optoelectrónica
• Subjects:Solar energy Photochemistry Photocatalysis Nanostructures Optoelectronics
• Palabras claves:películas delgadas, zno, electrodo pt, relación de flujo de gas, fotoresponsabilidad uv, aplicación de fotodetectores uv, muestras de nanocapas de zno, microscopía de fuerza atómica, deposición química en fase vapor, medidor del ángulo de contacto
• Keywords:thin films, zno, pt electrode, gas flow rate ratio, uv photo responsibility, uv photodetector application, zno nanobilayer samples, atomic force microscopy, chemical vapor deposition, contact angle meter