Un micro resonador en peine cargado por un campo eléctrico alterno se modela por el método de elementos finitos. El amortiguamiento se analiza mediante el modelo de flujo de Couette y el modelo de flujo de Stokes. Se investigan los efectos de los fallos estructurales en las características dinámicas del micro resonador de peine. Los resultados muestran que los fallos de adherencia aumentan la frecuencia de resonancia y reducen la sensibilidad, mientras que los fallos de fisura disminuyen la frecuencia de resonancia y la amplitud. Cuando la grieta se encuentra cerca del extremo, la concentración de tensiones en el lugar de la grieta es mayor, lo que puede provocar la rotura de la viga de soporte.
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