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Total Ionizing Dose Effects of Si Vertical Diffused MOSFET with SiO and SiN/SiO Gate DielectricsEfectos de la Dosis Total de Radiación Ionizante en el MOSFET Difuso Vertical de Silicio con Dieléctricos de Puerta SiO y SiN/SiO.

Resumen

Se investigan los efectos de la irradiación por dosis total de ionización en los MOSFETs difundidos verticales de Si (VDMOSs) con diferentes dieléctricos de compuerta, incluida una capa de SiO única y una capa doble de SiN/SiO. La captura de huecos inducida por radiación es mayor para la capa de SiO única que para la capa doble de SiN/SiO. También se estudian los efectos de la TID dependientes de la temperatura de oxidación dieléctrica. El desplazamiento negativo de la tensión umbral inducido por la captura de huecos es menor para SiO a una temperatura de oxidación más baja. El sesgo de compuerta durante la irradiación conduce a un desplazamiento diferente para diferentes dieléctricos de compuerta. La capa de SiO única muestra el peor desplazamiento negativo en , mientras que SiN/SiO doble muestra un desplazamiento negativo en , un desplazamiento positivo en y un desplazamiento insign

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