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Selected Aging Effects in Triaxial MEMS AccelerometersEfectos seleccionados del envejecimiento en los acelerómetros MEMS triaxiales

Resumen

Se evaluó el envejecimiento natural de acelerómetros MEMS triaxiales comerciales de baja g, fabricados por micromecanizado superficial, en términos de cambios de sus tensiones de offset y factores de escala, asignados a cada eje sensible. Se probaron dos piezas de dos modelos de acelerómetros triaxiales (ADXL 330 y ADXL 327 de Analog Devices Inc.) con salidas analógicas en un periodo de unos 4,5 años. Se utilizaron dos bancos de pruebas diferentes controlados por ordenador para realizar los estudios experimentales pertinentes, empleando ángulos de inclinación como fuente de referencia. La metodología para determinar los indicadores de envejecimiento propuestos se basó en la repetición cíclica del procedimiento de calibración para cada acelerómetro. Se observaron cambios en las señales de salida de los acelerómetros ensayados, que dieron lugar a errores de indicación respectivos de aproximadamente el 0,8% o incluso el 2,2% en relación con la determinación de la inclinación. Dado que los acelerómetros se utilizaron en condiciones suaves durante las pruebas, es de esperar que los errores sean mucho mayores en el caso de condiciones duras. Los dos acelerómetros ADXL 330 dejaron de funcionar correctamente durante el periodo de prueba, aproximadamente al mismo tiempo, sin motivo aparente; por lo tanto, se recomienda introducir redundancia en los circuitos de medición fiables pertinentes duplicando el número de acelerómetros aplicados.

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