Resumen

Este artículo presenta una revisión de los micrófonos con sistemas microelectromecánicos (MEMS). El objetivo de esta revisión es identificar los problemas que plantean los diseños de micrófonos MEMS y analizar en profundidad las soluciones más avanzadas que han presentado los investigadores para mejorar su rendimiento. Se ha llevado a cabo un considerable trabajo de investigación en micrófonos MEMS capacitivos, y este campo ha atraído a la comunidad investigadora porque estos diseños tienen una alta sensibilidad, una respuesta en frecuencia plana y un bajo nivel de ruido. Se ha presentado un panorama detallado de los micrófonos omnidireccionales utilizados en las aplicaciones de una gama de frecuencias de audio. Dado que la membrana del micrófono está hecha de una película delgada, tiene una tensión residual que degrada el rendimiento del micrófono. Se ha presentado una revisión detallada en profundidad de artículos de investigación que contienen soluciones para aliviar estas tensiones. Se ha realizado un análisis comparativo de los procesos de fabricación de micrófonos omnidireccionales de uno y dos chips, en los que las membranas están compuestas de silicio monocristalino, polisilicio y nitruro de silicio, y se han explicado los artículos que contienen la mejora del rendimiento en estos dos procesos de fabricación. Esta revisión servirá de guía de partida para los nuevos investigadores en el campo de los micrófonos MEMS capacitivos.

• Materias:Biotecnología Sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology sensors Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:micrófonos mems capacitivos, revisión, procesos de fabricación, micrófonos omnidireccionales, considerable trabajo de investigación, diseños de micrófonos mems, gama de frecuencias de audio, respuesta en frecuencia plana, bajo nivel de ruido, campo
• Keywords:capacitive mems microphones, review, fabrication processes, omnidirectional microphones, considerable research work, mems microphone designs, audio frequency range, flat frequency response, low noise level, field