Resumen

Se depositó una película bicapa de DLC/a-Si sobre un sustrato de germanio. La capa de a-Si, una capa semilla, se depositó en primer lugar sobre el sustrato mediante pulverización catódica por magnetrón de corriente continua y, a continuación, la capa de DLC se depositó sobre la capa de a-Si mediante el método de arco catódico filtrado pulsado. Las películas bicapa se depositaron con diferentes relaciones de espesor DLC/a-Si, incluyendo 2/2, 2/6, 4/4, 6/2, y 9/6. El efecto de las relaciones de espesor DLC/a-Si sobre el contenido sp3 del DLC se analizó mediante espectroscopia Raman. Los resultados muestran que la capa a-Si no tiene ningún efecto sobre la estructura de la película de DLC. Además, el desplazamiento superior del número de onda G y la disminución de ID/IG informan de que el contenido sp3 de la película es directamente proporcional al espesor del DLC. El gráfico modificado a partir del modelo de tres etapas informa de que las características estructurales de las películas bicapa de DLC/a-Si se sitúan cerca del carbono amorfo tetraédrico. Esta información puede ser importante para analizar y desarrollar películas protectoras bicapa para futuras unidades de disco duro.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanotubos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanotubes
• Palabras claves:relaciones de espesor si, capa si, dlc, contenido sp3, futura unidad de disco duro, película bicapa si, películas bicapa si, método de arco catódico, carbono amorfo tetraédrico, efecto
• Keywords:si thickness ratios, si layer, dlc, sp3 content, future hard disk drive, si bilayer film, si bilayer films, cathodic arc method, tetrahedral amorphous carbon, effect