Resumen

Demostramos los resultados de una evaluación de tensión obtenida a partir de mediciones de espectroscopía Raman con el método de súper resolución (llamado espectroscopía Raman de súper resolución) para un sustrato de Si con una película de SiN con patrón (que sirve como muestra de Si tensionado). Para mejorar la resolución espacial de la espectroscopía Raman, utilizamos el método de súper resolución y una lente de inmersión de alta apertura numérica. Además, estimamos la resolución espacial mediante un cálculo del modelo de fuerza de borde (EFM). Se obtuvieron distribuciones de tensión de una y dos dimensiones en el sustrato de Si con la película de SiN con patrón mediante espectroscopía Raman de súper resolución. Los resultados de la espectroscopía Raman de súper resolución y del cálculo EFM fueron comparados y se encontró que correlacionaban bien. La mejor resolución espacial, 70 nm, se logró mediante mediciones de espectroscop

• Materias:Ionización Espectrofotometría Fluidos de perforación Análisis fluorimétrico Farmacocinética metabolómica
• Subjects:Ionization Spectrophotometry Drilling fluids Fluorimetric analysis Metabolomic pharmacokinetics
• Palabras claves:Deformación; Evaluación; Espectroscopia Raman; Método de superresolución; Resolución espacial; Tensión.
• Keywords:Strain; Evaluation; Raman spectroscopy; Super-resolution method; Spatial resolution; Stress.