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Hot Embossing of Zr-Based Bulk Metallic Glass Micropart Using Stacked Silicon DiesEstampación en caliente de micropartes de vidrio metálico a granel a base de Zr mediante matrices de silicio apiladas

Resumen

Se demostró el estampado en caliente de micropartes de vidrio metálico a granel Zr65Cu17.5Ni10Al7.5 utilizando matrices de silicio apiladas. Se llevó a cabo una simulación de elementos finitos, sugiriendo que podría reducir la tensión por debajo de 400 MPa en las matrices de silicio y mejorar la durabilidad de las matrices de silicio frágiles cuando se utiliza el modo de carga variable (100 N durante 60 s y luego 400 N durante 60 s) en comparación con el modo de carga constante (200 N durante 120 s). Se fabricó una microparte con buena apariencia bajo la carga variable, y no se observó ningún fallo en la matriz de silicio, de acuerdo con la simulación. El estado amorfo de la microparte se confirmó mediante calorímetro diferencial de barrido y difracción de rayos X, y la nanodureza y el módulo de Young se validaron cerca de los de las varillas BMG fundidas mediante ensayos de nanoindentación. Los resultados demostraron que era factible adoptar el modo de carga variable para fabricar micropartes tridimensionales de vidrio metálico a granel con base de Zr mediante el proceso de estampado en caliente.

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