Se obtuvieron recubrimientos nanoestructurados de (Ti-Zr-Hf-V-Nb)N mediante el método de deposición de vapor por arco catódico (CAVD). Para investigar estos recubrimientos se utilizaron varios métodos complementarios de análisis elemental y estructural, a saber, haz de positrones lento (SPB), microhaz de protones (μ-PIXE), haz de micro y nanoelectrones (análisis EDS y SEM) y método de difracción de rayos X (DRX), incluido el método de medición "α-sin2φ" de un estado de tensión-deformación (medición de la deformación con rayos X). Además, también se investigó la textura de los recubrimientos antes y después del recocido hasta 873 K (para un tiempo de recocido τ=30 min). Se demostró que el aumento del estado de tensión-deformación en el recubrimiento durante la deposición aumenta la resistencia a la oxidación a altas temperaturas de recocido. También se comprobó que la redistribución de elementos y defectos, así como su alineación (segregación), aparecían debido a la difusión estimulada térmicamente. También está relacionada con el proceso de segregación espinodal cerca de los límites de grano y las interfaces alrededor de los granos y subgranos.
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