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Artículo

Study on the Effect of Oxygen Defects on the Electrical and Optical Properties of Thin FilmsEstudio sobre el efecto de los defectos de oxígeno en las propiedades eléctricas y ópticas de películas delgadas

Resumen

Las películas delgadas de SnO crecidas directamente sobre el sustrato de Si tenían tamaños de grano promedio más grandes a medida que aumentaba la intensidad de potencia, pero el tamaño de grano promedio de las películas delgadas de SnO crecidas en atmósfera de oxígeno disminuyó a medida que aumentaba la intensidad de potencia. La medición de Hall de las películas delgadas de SnO puro mostró que la densidad de portadores aumentaba con la potencia creciente. Sin embargo, al recocer las películas delgadas de SnO, la densidad de portadores disminuyó con la potencia creciente debido a la formación de vacantes de oxígeno y la capa de SiO entre el sustrato de Si y las películas delgadas de SnO. La fotoluminiscencia (PL) de la película delgada de SnO crecida en la atmósfera de oxígeno cambió, y fue afectada por los defectos de oxígeno en la superficie y las interfaces de

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