Resumen

Las películas delgadas de CdO dopadas con Al fueron preparadas por pulverización catódica de radiofrecuencia a diferentes tiempos de deposición y temperatura del sustrato. La difracción de rayos X mostró que los cambios en las intensidades de los planos (200), (220) y (311) siguieron una tendencia similar con el aumento del tiempo de deposición. La superficie de la película delgada fue examinada mediante microscopía electrónica de barrido. Los tamaños de grano de las películas delgadas de CdO dopadas con Al aumentaron significativamente con el aumento del tiempo de deposición. Los espesores de las películas fueron de 0,09, 0,12, 0,20 y 0,225 m para los tiempos de deposición de 1, 2, 3 y 4 h, respectivamente. Los espectros de fotoluminiscencia de las películas delgadas de CdO dopadas con Al fueron medidos a temperatura ambiente. La longitud de onda de fotoluminiscencia cambió en la secuencia verde, azul, verde y

• Materias:Espectroscopia Nanocompuestos Oxidación electrolítica Espectrometría de masas Parámetros cinéticos
• Subjects:Spectroscopy Nanocomposites Electrolytic oxidation Mass spectrometry Kinetic parameters
• Palabras claves:Dopado con al; Películas delgadas; Tiempo de deposición; Temperatura del sustrato; Espectros de fotoluminiscencia; Parámetros de procesado
• Keywords:Al-doped; Thin films; Deposition time; Substrate temperature; Photoluminescence spectra; Processing parameters