Resumen

Centrándose en la característica de la porosidad del carbón de bambú, este estudio aplica el método de vibración asistida por ultrasonidos para realizar el pulido superficial de la pieza de trabajo de la oblea de silicio. El husillo de pulido de carbón de bambú de desarrollo propio y el mecanismo de vibración asistida por ultrasonidos se acoplan a una única máquina de lapeado. En el proceso de mecanizado, la vibración ultrasónica permite que la lechada de diamante pase suavemente a través de los agujeros microscópicos del carbón de bambú; el extremo del carbón de bambú es capaz de continuar el mecanizado en la superficie de la pieza de trabajo a través de la fuerza de agarre que existe en los agujeros microscópicos. Bajo los parámetros de pulido y mecanizado de la vibración asistida por ultrasonidos, con una concentración de lechada de diamante del 0,3%, los resultados experimentales muestran un tiempo de pulido de 20 min, una carga de 25 N en la superficie de la pieza, una velocidad del husillo de 1200 rpm, una frecuencia de vibración de 30 kHz y el valor de rugosidad superficial original de Ra 0,252 μm es igual al de una superficie tipo espejo de Ra 0,017 μm. Estos resultados de la investigación demuestran que utilizando carbón de bambú y vibración asistida por ultrasonidos para el pulido, se puede conseguir una muy buena mejora en la superficie de la pieza.

• Materias:Cinética Industria del cemento Metales Cemento Ingeniería de estructuras Perforación de pozos de minas
• Subjects:Kinetics Cement industries Metals Cement Structural engineering Shaft sinking
• Palabras claves:carbón de bambú, superficie de la pieza de trabajo, agujero microscópico, valor de rugosidad de la superficie, pieza de trabajo de oblea de silicio, agujero de bambú, concentración de lechada de diamante, mecanismo de vibración asistida, métodos de vibración asistida, características de la porosidad
• Keywords:bamboo charcoal, workpiece surface, microscopic hole, surface roughness value, silicon wafer workpiece, hole of bamboo, diamond slurry concentration, assisted vibration mechanism, assisted vibration methods, features of porosity