Se realizaron simulaciones de Monte Carlo para investigar el comportamiento de la relación pico-fondo (P/B) de partículas en un sustrato en función de diferentes variables como el ángulo de despegue, ángulo de inclinación, tamaño de partícula y energía del haz. Los resultados mostraron que la P/B depende en gran medida de la energía del haz, el tamaño de las partículas y la composición de los sustratos. Los resultados mostraron que la tasa de reducción de intensidad del pico es menor que la del fondo para un ángulo de inclinación alto (60 grados), y por lo tanto, la P/B aumenta a un ángulo de inclinación alto. Se demostró que al aumentar el ángulo de despegue, la P/B inicialmente disminuye y luego alcanza un plateau. Los resultados mostraron que la P/B depende en gran medida del tamaño de las partículas. Los análisis mostraron que al mover el haz de electrones desde el centro hacia el lado de la partícula, la P/B aumenta. Finalmente, las partículas es
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