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The Study of Microwave and Electric Hybrid Sintering Process of AZO TargetEstudio del proceso de sinterización híbrida por microondas y eléctrica del blanco AZO

Resumen

Simulamos la sinterización por microondas del ZnO mediante un modelo 3D. Se preparó un compacto cerámico verde de gran tamaño de ZnO dopado con Al (AZO) mediante colada. Mediante el estudio de la sinterización híbrida por microondas y eléctrica del compacto verde, se obtuvo una densidad relativa de hasta 98,1 al iniciar el calentamiento por microondas a 1200°C y aumentar la potencia 20 minutos después hasta 4 kW para un blanco cerámico AZO de 120 × 240 × 12 mm. Se investigó la resistividad de los blancos AZO sinterizados con asistencia de microondas. El consumo de energía de la sinterización podría reducirse en gran medida con este método de calentamiento. Hasta ahora, se han realizado pocos estudios sobre la sinterización híbrida de microondas y eléctrica de blancos cerámicos AZO de gran tamaño. Esta investigación puede ayudar a desarrollar la tecnología de sinterización de blancos cerámicos de óxido de alta calidad de gran tamaño.

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