Resumen

Las películas metálicas delgadas se utilizan ampliamente como cables de interconexión y revestimientos en dispositivos electrónicos y componentes ópticos. Desde el punto de vista de la gestión térmica, se requieren propiedades termofísicas fiables de las películas. Se ha estudiado el transporte térmico en el plano transversal de cuatro nanopelículas policristalinas de molibdeno de diferentes espesores depositadas sobre sustratos de vidrio aplicando la técnica de termorreflexión transitoria con láser de picosegundos. La medida se realiza aplicando configuraciones de sonda frontal-bomba y sonda frontal-bomba trasera con señal de alta calidad. La difusividad térmica en el plano transversal de las películas de Mo disminuye en gran medida en comparación con el valor correspondiente del material a granel y tiende a aumentar a medida que las películas se hacen más gruesas, mostrando un efecto de tamaño significativo. El principal mecanismo responsable de la disminución de la difusividad térmica de las nanopelículas policristalinas de Mo es la dispersión de los electrones libres en los límites de grano. La comparación de la difusividad térmica en el plano transversal y la conductividad eléctrica en el plano interno indica la anisotropía de las propiedades de transporte de las películas de Mo.

• Materias:Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanomateriales Nanosensores
• Subjects:Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanomaterials Nanosensors
• Palabras claves:películas de mo, plano transversal, difusividad térmica, nanopelículas de mo policristalinas presentes, propiedades termofísicas fiables, películas metálicas delgadas, valor a granel correspondiente, plano transversal determinado, configuraciones de sonda frontal, señal de alta calidad
• Keywords:mo films, cross plane, thermal diffusivity, present polycrystalline mo nanofilms, reliable thermophysical properties, thin metal films, corresponding bulk value, determined cross plane, front probe configurations, high quality signal