Resumen

Estudiamos un interruptor MEMS capacitivo compuesto por dos microvigas flexibles sujetas en ambos extremos. Primero desarrollamos un modelo matemático para el interruptor MEMS donde la microviga superior representa la línea de transmisión de tierra y la inferior representa la línea de transmisión central. Se aplica una fuerza electrostática entre las dos microvigas para llevar el interruptor a sus estados ON y OFF. Derivamos las ecuaciones de movimiento del sistema y las condiciones de contorno asociadas y resolvemos los problemas estáticos y dinámicos utilizando el método cuadrático diferencial. Mostramos que utilizando solo nueve puntos de malla se obtienen resultados relativamente precisos en comparación con los obtenidos utilizando FEM. También examinamos el comportamiento transitorio del microinterruptor y obtenemos resultados que indican que se esperan reducciones posteriores en el voltaje de actuación, tiempo de conmutación y consumo de energía, junto con un rendimiento RF relativamente bueno. En este artículo se utiliza el simulador ANSYS HFSS para extraer las características de RF del microinterruptor. Los resultados de simulación de

• Materias:Interacción dinámica Efectos de amortiguamiento Velocidades críticas Control de vibraciones Amortiguador
• Subjects:Dynamic interaction Damping effects Critical velocities Vibration control Damper
• Palabras claves:Capacitivo; Interruptor MEMS; Microvigas; Fuerza electrostática; Características de RF; Simulador HFSS
• Keywords:Capacitive; MEMS switch; Microbeams; Electrostatic force; RF characteristics; HFSS simulator