Resumen

Se depositaron películas delgadas de molibdeno mediante sputtering magnetrónico rf y dc y se analizaron sus propiedades en relación con su posible aplicación como contacto posterior para células solares CIGS. Se demuestra que ambos tipos de películas tienden a pasar de la tensión de tracción a la de compresión cuando aumenta la presión de deposición, mientras que la conductividad y el tamaño de grano disminuyen. La nucleación de las películas caracterizada por elipsometría espectroscópica in situ y en tiempo real muestra que ambas películas siguen un crecimiento Volmer-Weber, con una mayor rugosidad superficial y menor tasa de deposición para las películas depositadas por rf. A continuación, se extrajo el tiempo de relajación electrónica en función del grosor de la capa para las películas de rf y dc ajustando cada función dieléctrica a un modelo de electrones libres de Drude combinado con un oscilador de Lorentz amplio. Los valores se ajustaron a un modo de crecimiento cónico y demostraron que las películas depositadas por radiofrecuencia tienen granos más pequeños que las películas de corriente continua cuando el grosor de la capa es de 30 nm.

• Materias:Energía solar Fotoquímica Fotocatálisis Nanoestructuras Biofotónica
• Subjects:Solar energy Photochemistry Photocatalysis Nanostructures Biophotonics
• Palabras claves:películas, espesor de la capa, películas de corriente continua, elipsometría espectroscópica en tiempo real, oscilador de Lorentz amplio, modo de crecimiento cónico, aumento de la presión de deposición, tiempo de relajación electrónica, disminución del tamaño de grano, mayor rugosidad superficial
• Keywords:films, bulk layer thickness, dc films, real time spectroscopic ellipsometry, broad lorentz oscillator, conical growth mode, deposition pressure increases, electronic relaxation time, grain size decreas, higher surface roughness