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Este trabajo muestra un método para evaluar el espesor de capas delgadas mediante la técnica de energía dispersiva de rayos X (EDS). Las medidas analíticas del área de picos característicos realizadas con esta técnica se complementan con trayectorias de electrones sobre el volumen de interacción mediante simulación Monte Carlo. Éstas, junto con las estimaciones obtenidas para las intensidades de los picos característicos según el algoritmo de Bethe, Joy&Luo, permiten estimar el espesor de las muestras.
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