Resumen

Las películas (recubrimientos) de diamante nanocristalino se prepararon mediante la técnica de deposición química en fase vapor mejorada por plasma (PECVD). En este método, se utilizó una descarga luminosa de corriente continua (CC) en los campos E/H cruzados para activar la fase gaseosa. Los recubrimientos de diamante se depositaron a partir de la mezcla de gases de trabajo CH4/H2 con adición de nitrógeno en diversas concentraciones. Se comprobó que la adición de N2 a la mezcla de gas de trabajo conduce a la reducción del tamaño de los granos de diamante, así como a la disminución sustancial de la resistividad de las películas estudiadas. Los datos electrofísicos concuerdan bien con los cambios inducidos al variar el contenido de N2 en los espectros de dispersión Raman. El aumento de la concentración de N2 provoca una disminución significativa del pico relacionado con el diamante cristalino y un aumento de la intensidad de los picos relacionados con el carbono sp 2-bonded. Estos cambios en los espectros indican un desorden significativo de la estructura de las películas preparadas y su uniformidad en el volumen de la película de nanodiamante. Con gran posibilidad, se asocia a una disminución del tamaño de los granos cristalinos de diamante y a la tendencia de la película de NCD a la amorfización.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:deposición química de vapor, granos cristalinos de diamante, mezcla de gases ch4, películas de diamante nanocristalino, volumen de películas de nanodiamante, adición, cambios, tamaños, espectros, campos h
• Keywords:chemical vapor deposition, diamond crystalline grains, gas mixture ch4, nanocrystalline diamond films, nanodiamond film volume, addition, changes, sizes, spectra, h fields