Se ha sintetizado la micro/nanoestructura de compuestos de siliciuro de manganeso (Mn-Si) con diversas morfologías (nanohilos, películas, partículas y estructura en forma de poliedro) mediante deposición química en fase vapor asistida por oxígeno cambiando la geometría de apilamiento del polvo de manganeso. Los poliedros preparados en la zona de contacto Mn-Si se identificaron como materiales de gradiente funcional de composición química que se verificaron analizando la relación atómica de Mn/Si de arriba abajo. La evolución de la morfología dependió en gran medida de la forma de apilamiento correlacionada con la distancia del precursor al sustrato, lo que dio lugar a mecanismos de crecimiento distintivos. Se ha comprobado que las principales estructuras sobre el sustrato son Mn5Si3 y Mn4Si7 con diferente apilamiento de Mn en protuberancias en comparación con el único Mn4Si7 de superficie plana.
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