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Fabrication of Metal Nanoparticle Arrays in the ZrO2(Y), HfO2(Y), and GeOx Films by Magnetron SputteringFabricación de conjuntos de nanopartículas metálicas en las películas de ZrO2(Y), HfO2(Y) y GeOx mediante sputtering de magnetrón

Resumen

Las matrices de nanopartículas (NPs) de Au incrustadas en las películas de ZrO2(Y), HfO2(Y) y GeOx (x≈2) se han fabricado mediante la deposición alternada de las películas dieléctricas y metálicas de espesor nanométrico utilizando Magnetron Sputtering seguido de recocido. Se ha estudiado la estructura y las propiedades ópticas de las matrices de NP, en función de los parámetros de la tecnología de fabricación. Se ha demostrado la posibilidad de fabricar matrices densas de NP de una sola hoja de Au en las matrices mencionadas anteriormente con tamaños de NP controlados (entre 1 y 3 nm) y densidad superficial. Se ha observado un desplazamiento al rojo del pico de absorción óptica plasmónica en los espectros de transmisión óptica de las películas nanocompuestas (en la banda de longitud de onda de 500 a 650 nm). El efecto se atribuyó a la excitación de los plasmones-polaritones superficiales colectivos en los densos conjuntos de NP de Au. Las películas nanocompuestas fabricadas en el presente estudio pueden encontrar diversas aplicaciones en nanoelectrónica (por ejemplo, electrónica simple, dispositivos de memoria no volátil), óptica integrada y plasmónica.

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