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Fabrication of Light Extraction Efficiency of Organic Light-Emitting Diodes with 3D Aspherical Microlens by Using Dry Etching ProcessFabricación de la eficacia de extracción de luz de diodos emisores de luz orgánicos con microlente asférica 3D mediante un proceso de grabado en seco

Resumen

El diodo orgánico emisor de luz (OLED) puede permitir una mayor relación de contraste artificial y ángulo de visión en comparación con la pantalla de cristal líquido (LCD) porque los píxeles OLED emiten luz directamente. Existe el inconveniente de que la eficiencia cuántica interna puede alcanzar valores cercanos al 100%, pero alrededor del 80% de la luz se dispersa debido a la diferencia entre los índices de refracción del sustrato, el ánodo, la película de óxido de indio y estaño (ITO) y el aire. En este trabajo, se desarrollan matrices de microlentes asféricas tridimensionales (3D A-MLAs) con modificaciones del sustrato para simular el campo óptico luminoso mediante el software FRED. En este estudio se modifican los parámetros de las A-MLAs 3D, como el diámetro, el factor de relleno, la relación de aspecto, los parámetros de grabado en seco y las velocidades de electroformación de las microlentes para mejorar la eficiencia de extracción del OLED. En el grabado en seco, no sólo se puede obtener la relación de aspecto con una mejor tasa de extracción mediante el grabado en seco con iones reactivos (RIE), sino que también se puede evitar un fenómeno de socavado. Las dimensiones de los A-MLA 3D pueden controlarse con precisión en el proceso de electroconformado utilizado para fabricar un molde metálico de níquel-cobalto (Ni-Co) para conseguir las dimensiones diseñadas. Según los resultados medidos, se puede mejorar la eficacia luminosa media de los OLED con A-MLA tridimensionales.

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