Resumen

Se prepararon películas finas submicrométricas de óxido de circonio estabilizado con itria (YSZ) sobre diversos sustratos con diferentes morfologías superficiales mediante pulverización catódica por magnetrón seguida de oxidación térmica. Se observaron agujeros de alfiler en las películas depositadas sobre sustratos de alúmina nanoporosa. Las películas iniciales densas de Y/Zr desarrollaron nanocracks tras la oxidación térmica sobre sustratos lisos de obleas de Si. En condiciones óptimas de sputtering y oxidación, se obtuvieron películas lisas y sin grietas/poros sobre sustratos de obleas de Si. Las películas delgadas de YSZ mostraron una conducción totalmente iónica con conductividades iónicas, y la energía de activación corroboró bien con los valores de las placas comerciales de YSZ. Las películas delgadas de YSZ pueden utilizarse en pilas de combustible de óxido sólido (SOFC) para operaciones a temperatura intermedia.

• Materias:Catálisis Electroquímica Electrodos Voltamperometría Biosensor electroquímico Biosensores
• Subjects:Catalysis Electrochemistry Electrodes Voltammetry Electrochemical biosensor Biosensors
• Palabras claves:Películas delgadas de YSZ, oxidación térmica, pilas de combustible de óxido sólido, sustratos lisos de obleas de Si, Y denso inicial, sustratos de obleas de Si, placas comerciales de YSZ, diferentes morfologías superficiales, operaciones a temperatura intermedia, sustratos nanoporosos de alúmina.
• Keywords:thin YSZ films, thermal oxidation, Solid Oxide Fuel Cells, smooth Si wafer substrates, Initial dense Y, Si wafer substrates, commercial YSZ plates, different surface morphologies, intermediate temperature operations, nanoporous alumina substrates