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Fabrication of Patterned Integrated Electrochemical SensorsFabricación de sensores electroquímicos integrados con patrones

Resumen

La fabricación de sensores electroquímicos integrados es un paso importante hacia la realización de plataformas totalmente integradas y verdaderamente inalámbricas para muchas aplicaciones de detección local en tiempo real. El modelado a micro/nanoescala de superficies de sensores electroquímicos de área reducida mejora el rendimiento del sensor para superar las limitaciones derivadas de su pequeña superficie y, por tanto, es la clave para el éxito de la miniaturización de plataformas integradas. Hemos demostrado la microfabricación de sensores electroquímicos utilizando técnicas de litografía descendente y grabado en sustratos de silicio y CMOS. Esta elección de fabricación evita la necesidad de técnicas ascendentes que no son compatibles con los métodos establecidos para fabricar componentes electrónicos (por ejemplo, CMOS), que constituyen la base industrial de la mayoría de los microsistemas integrados. Presentamos los resultados de la aplicación de sensores microfabricados a diversos problemas de medición, con especial atención a su uso para la detección continua de ADN y glucosa. Nuestros resultados demuestran las ventajas de utilizar técnicas de micro y nanofabricación para la miniaturización y optimización de plataformas de detección modernas que emplean técnicas de medición electrónica bien establecidas.

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