Resumen

Este artículo describe un método de nanofabricación de un conjunto de nanodomos antirreflectantes de alta densidad de empaquetamiento. La matriz de nanodomos se fabricó mediante procesos industriales de fotolitografía y deposición física de vapor para conseguir una nanoestructura uniforme y sin defectos en una gran superficie. La matriz de nanodomos se formó sobre la superficie de una placa de vidrio mediante un proceso de nanoimpresión utilizando el molde replicado del patrón con el objetivo de reducir la reflexión de Fresnel de la superficie de vidrio. La fidelidad de la replicación se verificó mediante microscopía electrónica de barrido y el sustrato de vidrio estructurado con nanodomos mostró un aumento de ~3% en la transmitancia óptica.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:matriz de nanodomos de empaquetamiento estrecho, procesos de deposición física de vapor, matriz de nanodomos antirreflectante, alta densidad de empaquetamiento, maestro, reflexión fresnel, microscopía electrónica, nanoestructura libre, placa de vidrio, sustrato de vidrio
• Keywords:close packed nanodome array, physical vapor deposition processes, antireflective nanodome array, high packing density, master, fresnel reflection, electron microscopy, free nanostructure, glass plate, glass substrate