Resumen

Este artículo presenta la fabricación de una membrana basilar artificial (ABM) basada en Si3N4 con una matriz de nanopilares de ZnO. La estructura de la ABM se compone de una membrana que varía logarítmicamente fabricada mediante un proceso MEMS y una matriz piezonanopilar cultivada en la membrana de Si3N4 mediante un método hidrotérmico. Fabricamos el sustrato inferior que contiene la membrana basada en Si3N4 para inducir los movimientos resonantes de la onda sonora y los sustratos superiores de electrodos para adquirir señales eléctricas. Además, se realiza el proceso de unión de los sustratos superior e inferior para construir el dispositivo ABM. Dependiendo de la entrada de la onda sonora de la frecuencia específica, la ubicación específica del ABM produce un comportamiento resonante. A continuación, una deformación local de la matriz piezonanopilar produce una señal eléctrica entre los electrodos superior e inferior. Como resultados experimentales del ABM fabricado, las frecuencias resonantes medidas son 2,34 kHz, 3,97 kHz y 8,80 kHz y las tensiones eléctricas producidas en cada frecuencia resonante son 794 nV, 398 nV y 89 nV. Así pues, este dispositivo ABM fabricado muestra la posibilidad de ser un dispositivo acústico biomimético.

• Materias:Biotecnología Redes de sensores Sistema de sensores Diagnóstico de fallas Tecnología de sensores Diagnóstico de fallos
• Subjects:Biotechnology Sensor networks Sensor system Fault diagnosis Sensor technology
• Palabras claves:abm, si3n4, khz, membrana, dispositivo abm, sustrato inferior, conjunto piezonanopilar, membrana basilar artificial, dispositivo acústico biomimético, entrada de ondas sonoras
• Keywords:abm, si3n4, khz, membrane, abm device, bottom substrate, piezonanopillar array, artificial basilar membrane, biomimetic acoustic device, sound wave input