Resumen

En este artículo se presenta un hidrófono de alta sensibilidad fabricado mediante un proceso de sistemas microelectromecánicos (MEMS) utilizando películas delgadas epitaxiales crecidas sobre obleas de silicio. La frecuencia de resonancia evaluada se calculó mediante análisis de elementos finitos (FEA). El hidrófono se diseñó, fabricó y caracterizó mediante diferentes mediciones realizadas en un tanque de agua, utilizando una técnica de sonido pulsado con una sensibilidad de -190 dB ± 2 dB para frecuencias en el rango 50-500 Hz. Estos resultados indican el alto rendimiento de los dispositivos acústicos miniaturizados, que pueden repercutir en diversas aplicaciones tecnológicas.

• Materias:Biotecnología Redes de sensores Sistema de sensores Diagnóstico de fallas Tecnología de sensores Diagnóstico de fallos
• Subjects:Biotechnology Sensor networks Sensor system Fault diagnosis Sensor technology
• Palabras claves:películas finas epitaxiales, frecuencia de resonancia evaluada, técnica de sonido pulsado, dispositivos acústicos, db ±, diferentes medidas, análisis de elementos, rango 50-500, hidrófono de sensibilidad, obleas de silicio
• Keywords:epitaxial thin films, evaluated resonant frequency, pulsed sound technique, acoustic devices, db ±, different measurements, element analysis, range 50–500, sensitivity hydrophone, silicon wafers