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Fabrication and Optical Property of Periodic Sn1-xTixO2 Nanostructures Patterned by the Polystyrene Microsphere TemplatesFabricación y propiedades ópticas de nanoestructuras periódicas de Sn1-xTixO2 modeladas con plantillas de microesferas de poliestireno

Resumen

Se fabricaron matrices regulares de nanoestructuras Sn1-xTixO2 mediante deposición por pulverización catódica de ángulo oblicuo sobre matrices autoensambladas de 200 nm de diámetro, 500 nm de diámetro y 1 μm de diámetro de microesferas de poliestireno, respectivamente. La morfología de las nanoestructuras pudo modularse mediante la variación de la potencia de pulverización catódica del blanco de Ti y el tamaño de las plantillas de microesferas de poliestireno. Por consiguiente, el rendimiento de la reflexión, que dependía de la morfología de las nanoestructuras, podía ajustarse optimizando los parámetros. La morfología anisotrópica de las nanoestructuras conseguida mediante el ajuste de la potencia de pulverización catódica del blanco de Ti podía generar el anisotropismo de la reflectancia. Con el aumento del tamaño de la esfera de PS, el anisotropismo de las nanoestructuras se debilitaba; sin embargo, presentaban excelentes efectos antirreflectantes al crear un gradiente menor del índice de refracción.

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