Resumen

Se presentan los resultados de un filtro óptico de guía de ondas que funciona en la región del infrarrojo cercano. El dispositivo consiste en una guía de onda cargada de rejilla híbrida basada en sol-gel, obtenida mediante la fusión de la fotolitografía convencional y la nanoimpresión UV. Partiendo de rejillas submicrométricas, fabricadas mediante litografía por haz de electrones, se ha producido un molde blando y las estructuras originales se han replicado sobre películas fotosensibles de sol-gel. Un último paso fotolitográfico permitió fabricar guías de onda de canal cargadas de rejilla. Los dispositivos se caracterizaron ópticamente mediante mediciones de transmisión en el rango de telecomunicaciones de 1450-1590 nm. La relación de extinción del filtro es de -11 dB y el ancho de banda es de 1,7 nm.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanotubos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanotubes
• Palabras claves:litografía por haz de electrones, relación de extinción del filtro, paso fotolitográfico final, región ir cercana, filtro de guía de ondas ópticas, gel, guías de ondas de canal, fotolitografía convencional, sol híbrido, estructuras originales
• Keywords:electron beam lithography, filter extinction ratio, final photolithographic step, near ir region, optical waveguide filter, gel, channel waveguides, conventional photolithography, hybrid sol, original structures