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Self-Ordered Voids Formation in SiO2 Matrix by Ge OutdiffusionFormación de huecos autoordenados en la matriz de SiO2 por difusión externa de Ge

Resumen

Se ha estudiado el comportamiento de recocido de multicapas muy finas de SiO2/Ge depositadas sobre sustrato de Si mediante deposición por pistola electrónica en alto vacío. Se ha demostrado que, tras el recocido a temperaturas moderadas (800°C) en atmósfera inerte, el Ge se difunde completamente de la matriz de SiO2 dejando pequeños vacíos esféricos (de unos 3 nm) incrustados en la matriz de SiO2. Estos huecos están muy bien correlacionados y se forman a distancias gobernadas por la estructura multicapa preexistente (en dirección vertical) y la autoorganización (en dirección horizontal). Las películas formadas producen una intensa fotoluminiscencia (PL) con un pico a 500 nm. La dinámica explorada del decaimiento de la PL muestra la existencia de un proceso muy rápido similar al encontrado en las capas de interfaz defectuosas de Ge/SiO2.

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