Resumen

Se aplicó una película delgada de TiO2 depositada sobre un sustrato de cuarzo de corte ST de 42°45′ girado 90° para fabricar un fotodetector ultravioleta de onda Love. Las películas delgadas de TiO2 se cultivaron mediante pulverización catódica por magnetrón de radiofrecuencia. La estructura cristalina y la morfología superficial de las películas delgadas de TiO2 se examinaron mediante difracción de rayos X, microscopio electrónico de barrido y microscopio de fuerza atómica. Se investigó el efecto del grosor de la película fina de TiO2 sobre la velocidad de fase, el coeficiente de acoplamiento electromecánico, el coeficiente de temperatura de la frecuencia y la sensibilidad ultravioleta de los dispositivos. La película delgada de TiO2 aumenta el coeficiente de acoplamiento electromecánico pero disminuye el coeficiente de temperatura de frecuencia para la propagación de ondas Love en el cuarzo cortado ST de 90° girado 42°45′. Para la aplicación del fotodetector ultravioleta de onda Love, el desplazamiento máximo de la pérdida de inserción y el desplazamiento de fase son de 2,81 dB y 3,55 grados en la película de TiO2 de 1,35-μm de espesor.

• Materias:Energía solar Fotoquímica Fotocatálisis Nanoestructuras Biofotónica
• Subjects:Solar energy Photochemistry Photocatalysis Nanostructures Biophotonics
• Palabras claves:coeficiente de acoplamiento electromecánico, coeficiente de temperatura, película delgada, películas delgadas, fotodetector ultravioleta de onda de amor, desplazamiento de pérdida de inserción máxima, propagación de onda de amor, microscopio de fuerza atómica, magnetrón de radiofrecuencia, película gruesa de tio2
• Keywords:electromechanical coupling coefficient, temperature coefficient, thin film, thin films, love wave ultraviolet photodetector, maximum insertion loss shift, love wave propagation, atomic force microscope, radio frequency magnetron, thick tio2 film