Resumen

Se implantaron recubrimientos micrométricos de carbono tipo diamante (DLC) producidos por deposición iónica directa con iones Ar de 30 keV y metales de transición en el rango de porcentajes más bajos (<10 at.%). Los cálculos teóricos mostraron que los iones se implantan justo debajo de la superficie, lo que se confirmó con mediciones de RBS. Las exploraciones con microscopio de fuerza atómica revelaron que la rugosidad de la superficie aumenta cuando se implanta con iones Ar y Cu, mientras que se mide un alisamiento de la superficie de 5,2 a 2,7 nm y una reducción del tamaño de grano de 175 a 93 nm para los recubrimientos implantados con Ag con una fluencia de 1,24×1016 at. cm-2. Los perfiles de profundidad de hidrógeno y carbono calculados mostraron cambios sorprendentemente significativos en las concentraciones en la región cercana a la superficie de los recubrimientos de DLC, particularmente cuando se implantan con iones de Ag. El hidrógeno se acumula hasta 32 at. y el mínimo de la distribución de carbono se desplaza hacia la superficie, lo que puede ser la causa del efecto de alisado superficial. Las implantaciones iónicas provocaron un aumento de la conductividad eléctrica de los recubrimientos de DLC, lo cual es importante para el desarrollo de sensores de gas de estado sólido basados en recubrimientos de DLC.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:recubrimientos dlc, superficie, exploraciones con microscopio de fuerza atómica, perfiles de profundidad del carbono, deposición directa de iones, reducción del tamaño de grano, sensores de gas de estado, aumentos de la rugosidad superficial, efecto de alisado superficial, iones de metales de transición
• Keywords:dlc coatings, surface, atomic force microscope scans, carbon depth profiles, direct ion deposition, grain size reduction, state gas sensors, surface roughness increases, surface smoothing effect, transition metal ions