Resumen

Se fabricaron películas de carbono tipo diamante (W-C:H) incorporadas con W mediante un sistema híbrido de haces compuesto por un sputtering magnetrónico de corriente continua y una fuente lineal de iones. La concentración de W (1,08~31,74 at.%) en la película se controló variando la corriente de pulverización catódica. La topografía transversal, la composición y la microestructura de las películas de W-C:H se investigaron mediante SEM, XPS, TEM y espectroscopia Raman. Las propiedades mecánicas y tribológicas de las películas en función de la concentración de W se evaluaron mediante un tensiómetro, una nanoindentación y un tribómetro de bola sobre disco, respectivamente. Los resultados mostraron que las películas presentaban principalmente la característica de carbono amorfo cuando la concentración de W de las películas era inferior al 4,38 at.%, donde los átomos de W incorporados se enlazaban con átomos de C y daban lugar a la formación de nanopartículas de WC1-x. La película W-C:H con una concentración de W de 4,38 at.% mostró un valor mínimo de tensión de compresión residual, una mayor dureza y mejores propiedades tribológicas. Más allá de este intervalo de concentración de W, tanto la tensión residual como las propiedades mecánicas se deterioraron debido al crecimiento de nanopartículas de carburo de wolframio en la matriz de carbono.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanoestructuras Nanomateriales
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanostructures Nanomaterials
• Palabras claves:concentración de w, películas, rango de concentración de w, concentración de w al.%, mejores propiedades tribológicas, sistema de haces híbrido, átomos de w incorporados, fuente lineal de iones, tensión residual de compresión, nanopartículas de carburo de wolframio
• Keywords:w concentration, films, w concentration range, at.% w concentration, better tribological properties, hybrid beams system, incorporated w atoms, linear ion source, residual compressive stress, tungsten carbide nanoparticles