Resumen

Presentamos estructuras de cobre compuestas por inductores apilados de múltiples capas (MLSIs) con una inductancia de decenas de microhenrios para su uso en tecnología de convertidores de potencia de baja frecuencia (inferior a 100MHz). Lo único de este trabajo es la introducción de la litografía de un solo nivel sobre el enfoque tradicional de dos niveles para crear cada capa de inductor. El resultado es un proceso de fabricación simplificado que resulta en una reducción en el número de pasos de litografía por capa de inductor (metal) y una reducción en la precisión de alineación necesaria. Además, demostramos que este proceso de fabricación produce una fuerte adherencia entre las capas, ya que incluso después de una técnica de abrasión postproceso en el diámetro interno de los inductores, no se produce cizallamiento y se preserva la conectividad. En total, se fabricaron tres estructuras separadas utilizando el enfoque de litografía de un solo nivel, cada una con un diseño de inductor apilado de tres capas pero

• Materias:Transferencia de energía Ingeniería de apilamiento Circuito oscilador Modelo analítico Inductores
• Subjects:Energy transfer Stacking engineering Oscillator circuit Analytical model Inductors
• Palabras claves:Cobre; Inductores; Litografía; Proceso de fabricación; Adherencia; Geometrías
• Keywords:Copper; Inductors; Lithography; Fabrication process; Adhesion; Geometries