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Influence of Deposition Rate on the Thermoelectric Properties of Sb2Te3 Thin Films by Thermal Evaporation MethodInfluencia de la Velocidad de Deposición en las Propiedades Termoeléctricas de Películas Delgadas de Sb2Te3 por el Método de Evaporación Térmica

Resumen

Los materiales termoeléctricos (TE) son cruciales porque pueden utilizarse en dispositivos de generación de energía y refrigeración. Los compuestos basados en Sb2Te3 son los materiales TE más favorables debido a su excelente figura de mérito a temperatura ambiente. En este estudio, se prepararon películas delgadas de Sb2Te3 sobre sustratos de SiO2/Si mediante evaporación térmica. Se investigó la influencia de la corriente de evaporación en las microestructuras y propiedades TE de las películas delgadas de Sb2Te3. Las estructuras cristalinas y las morfologías de las películas delgadas se analizaron mediante difracción de rayos X y microscopía electrónica de barrido de emisión de campo. Se midieron el coeficiente Seebeck, la conductividad eléctrica y el factor de potencia (FP) a temperatura ambiente. Los resultados experimentales mostraron que el coeficiente Seebeck aumentaba y la conductividad disminuía al aumentar la corriente de evaporación. El coeficiente Seebeck alcanzó un máximo de 387,58 μV/K a una corriente de evaporación de 80 A. Por el contrario, se obtuvo un FP de 3,57 µW/cmK2 a temperatura ambiente con una corriente de evaporación de 60 A.

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