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Influence of Annealing on Properties of Spray Deposited ZnO Thin FilmsInfluencia del recocido en las propiedades de las películas finas de ZnO depositadas por pulverización

Resumen

Se depositaron películas finas de óxido de zinc (ZnO) sobre sustratos de vidrio mediante la técnica de pirólisis por pulverización. Posteriormente, las películas se recocieron en aire ambiente entre 300°C y 500°C. La morfología y las propiedades estructurales de las películas delgadas se estudiaron mediante técnicas de microscopía electrónica de barrido por emisión de campo (FESEM), microscopía de fuerza atómica (AFM) y difractometría de rayos X (XRD). La resistividad eléctrica de las películas delgadas se midió utilizando una unidad de adquisición de datos. Las propiedades ópticas de las películas se caracterizaron mediante espectroscopia UV-vis y técnica de fotoluminiscencia (PL). Los datos de difracción de rayos X mostraron que las películas crecieron en la dirección (002) con una estructura hexagonal wurtzita. El tamaño medio del grano oscilaba entre 15 y 27 nm. El aumento de las temperaturas de recocido dio lugar a tamaños de grano más grandes y a una mayor cristalinidad, siendo la rugosidad de la superficie de las películas recocidas más del doble que la de las no recocidas. La resistividad eléctrica de las películas disminuyó con el aumento de la temperatura de recocido. En los espectros de fotoluminiscencia se observaron emisiones en las bandas UV y visible, debidas a emisiones relacionadas con excitones y defectos, respectivamente. Los valores de transmisión de las películas alcanzaron el 90% en el rango visible (400-700 nm).

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