Resumen

En este artículo se propone un codificador automático concentrado (CAE) para alinear el fotoespaciador (PS) y para la inspección local del PS. El método CAE tiene dos características. En primer lugar, las imágenes no alineadas pueden moverse a la misma posición de alineación, lo que permite mover las imágenes de PS medidas a la misma posición para comparar directamente las imágenes. En segundo lugar, las características de la PS anormal se mantienen aunque la PS se alinee mediante el método CAE. La PS anormal obtenida mediante CAE tiene la misma alineación que la PS de referencia y conserva sus características anormales. La presencia o ausencia de defectos y la ubicación de los defectos se identificaron sin medir con precisión la altura de la PS y la dimensión crítica (CD). Además, la alineación y la inspección de defectos se realizaron simultáneamente, lo que redujo el tiempo de inspección. Por último, se analizaron los parámetros de rendimiento y el tiempo de inspección para confirmar la validez del método CAE y se compararon con los métodos de comparación de similitud de imágenes utilizados para la inspección de defectos.

• Materias:Rayo láser Onda electromagnética Óptica Fibra óptica
• Subjects:Lasers Electromagnetic waves Optics Optical fibres
• Palabras claves:método cae, ps anormal, inspección de defectos, tiempo de inspección, métodos de comparación de similitud de imágenes, codificador automático concentrado, parámetros de rendimiento de la inspección, misma posición de alineación, cae, características
• Keywords:cae method, abnormal ps, defect inspection, inspection time, image similarity comparison methods, concentrated auto encoder, inspection performance parameters, same alignment position, cae, characteristics