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Inkjet-Printed Flexible MEMS Switches for Phased-Array AntennasInterruptores MEMS flexibles impresos con chorro de tinta para antenas de matriz en fase

Resumen

Este artículo presenta un conmutador MEMS flexible totalmente impreso por inyección de tinta para antenas de matriz en fase. La estructura física del conmutador MEMS impreso consiste en un anclaje con una viga de sujeción, una capa de sacrificio y líneas de transmisión inferiores. Se utiliza una película de poliimida Kapton® de 5 milímetros como material de sustrato flexible. Se utilizan dos tipos diferentes de tinta conductora PEDOT :PSS de Sigma Aldrich y tinta de nanopartículas de plata de NovaCentrix se utilizan para la fabricación de las diferentes capas impresas. Se ilustra el proceso de fabricación capa por capa y la evaluación del material. La caracterización de las capas se realiza con respecto al espesor crítico y la resistencia utilizando el análisis de materiales 2D/3D. Se utiliza la impresora de materiales Dimatix de Fujifilm (DMP-2800) para la fabricación y el perfilador KLA-Tencor (P-7) para el análisis 2D y 3D de cada capa. El interruptor MEMS tiene una baja tensión de actuación de 1,2 V, una capacidad de corriente de 0,2195 mA, una relación de encendido y apagado de 2195 :1, y una pérdida de inserción en RF de 5 dB hasta 13,5 GHz. La tecnología de interruptores MEMS impresos es un candidato prometedor para las antenas de matriz en fase flexibles y reconfigurables y otras aplicaciones de radiofrecuencia (RF) y microondas.

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