Resumen

Este artículo presenta un chip sensor multiparamétrico de la calidad del agua con compensación de temperatura. El chip sensor se fabricó utilizando tecnología de sistemas microelectromecánicos (MEMS). La superficie del chip integraba sensores de pH, oxígeno disuelto (OD), nitrógeno amoniacal y temperatura. Para compensar la temperatura de la solución, el chip también se diseñó con un calentador de resistencia de Pt de serpentina tipo sándwich. Los resultados experimentales mostraron que el sensor de pH tenía una alta sensibilidad de 0,288 mA/pH con buena linealidad (R2=0,9998), la sensibilidad del sensor de temperatura era de 0,949 Ω/°C, la sensibilidad del sensor de nitrógeno amoniacal era de 0,1139 mA/ppm, la sensibilidad del sensor de oxígeno disuelto (OD) era de 2,22 μA/ppm, y la sensibilidad de los cambios de temperatura con respecto a la potencia del calentador era de 0,3126°C/mW. En comparación con un único sensor de parámetros de calidad del agua, el chip sensor preparado podía detectar simultáneamente varios parámetros de una muestra de agua y tenía un buen efecto de compensación de la temperatura. Además, el chip sensor era pequeño, robusto y muy preciso.

• Materias:Biotecnología Minería de datos Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Data mining Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:chip sensor, sensibilidad, buen efecto de compensación de temperatura, chip sensor multiparamétrico de calidad del agua, sensor único de parámetros de calidad del agua, calentador de resistencia pt tipo serpentina, sensor de nitrógeno amoniacal, ω/°c, chip, oxígeno
• Keywords:sensor chip, sensitivity, good temperature compensation effect, multiparameter water quality sensor chip, single water quality parameter sensor, type serpentine pt resistance heater, ammonia nitrogen sensor, ω/°c, chip, oxygen