Resumen

Con el fin de investigar el mecanismo de ajuste interfacial de la piel electrónica (e-skin), se construyen varios modelos de sensores de presión capacitivos (CPS) con diferentes microestructuras y varios tamaños de microestructuras mediante el método de análisis de elementos finitos. La respuesta de presión simulada, la sensibilidad y la linealidad de los CPS diseñados muestran que el sensor con micropirámides tiene el mejor rendimiento en todos los modelos diseñados. La correspondiente sensibilidad predicha teóricamente es tan alta como 6,3 × 10-7 fF/Pa, que es unas 49 veces superior a la del sensor sin microestructura. Además, estos resultados de simulación adicionales muestran que cuanto más pequeñas son las relaciones L/H de la pirámide, mejor es la sensibilidad pero peor es la linealidad. Cuando la relación L/H de la pirámide es de aproximadamente 2, la sensibilidad y la linealidad pueden alcanzar un punto de equilibrio. Es evidente que los resultados de la simulación aportan un importante significado teórico para el futuro desarrollo de la piel electrónica.

• Materias:Biotecnología Nanotecnología Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Nanotechnology Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:sensibilidad, linealidad, método de análisis de elementos finitos, sensores de presión capacitivos, resultados de simulación adicionales, mecanismo de ajuste interfacial, respuesta de presión simulada, cps, pirámide, piel
• Keywords:sensitivity, linearity, finite element analysis method, capacitive pressure sensors, further simulative results, interfacial tuning mechanism, simulative pressure response, cps, pyramid, skin