Resumen

Los componentes funcionales basados en microestructuras se utilizan ampliamente en la ingeniería de precisión. La medición del perfil de superficie es una herramienta esencial para verificar la calidad de fabricación de las microestructuras y mejorar el rendimiento de trabajo del dispositivo que emplea microestructuras como componentes funcionales. Sin embargo, las mediciones de perfiles superficiales de alta precisión son difíciles de realizar en microestructuras debido a sus complejas topografías superficiales. En este artículo se propone un sistema de medición para la medición del perfil superficial de microestructuras. Los principales componentes del sistema de medición son una etapa de desplazamiento de precisión para mover la pieza de trabajo, un sistema de sondeo casero con un microstylus de diamante para detectar la variación del perfil superficial de las microestructuras en la pieza de trabajo, y una mesa de aislamiento de vibraciones para reducir las perturbaciones del entorno de medición. Además, se investigó experimentalmente la estabilidad de la medición. Se emplearon microestructuras con forma de triángulo rectángulo equilátero como muestra de medición, y se midió el perfil superficial de microestructuras triangulares empleando dos métodos para corregir los errores causados por la inclinación de la muestra y el radio de la punta del palpador. La forma, la profundidad y el periodo de las microestructuras medidas también se detectaron basándose en los resultados de la medición del perfil de la superficie. Los resultados experimentales demuestran la viabilidad de la medición del perfil superficial propuesta para microestructuras con topografías superficiales complejas.

• Materias:Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanocompuestos Nanofibras
• Subjects:Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanocomposites Nanofibers
• Palabras claves:medición del perfil superficial, microestructuras, topografías superficiales complejas, componentes funcionales, sistema de medición, mediciones precisas del perfil superficial, medición del perfil superficial, triángulo equilátero rectángulo, etapa de desplazamiento de precisión, variación del perfil superficial
• Keywords:surface profile measurement, microstructures, complex surface topographies, function components, measurement system, accurate surface profile measurements, surface profile measurement, equilateral right triangle, precision displacement stage, surface profile variation