Resumen

La evaluación del amortiguamiento de película de aire comprimido es crítica en el diseño y control de dispositivos MEMS dinámicos. Los modelos publicados de amortiguamiento de película de aire comprimido generalmente se derivan de las soluciones analíticas de la ecuación de Reynolds u otras formas modificadas bajo la suposición de condiciones de contorno de presión trivial en los bordes periféricos. Estos tratamientos que ignoran el efecto de borde no pueden dar un resultado fidedigno para estructuras con una brecha de ventilación de aire más pequeña o la estructura de doble cardán en la que el marco interno y el externo afectan la ventilación de aire. En este artículo, utilizamos la función de Green para resolver la ecuación de Reynolds no lineal con condiciones de contorno inhomogéneas. Para dos casos típicos de movimiento normal de placas paralelas, se establecen los modelos analíticos de la fuerza de amortiguamiento de película de compresión con efecto de borde. Las pérdidas viscosas e inerciales con valores reales y valores de impedancia

• Materias:Modelos matemáticos Conjuntos difusos Ecuaciones integrales Fusión de características Algoritmo de optimización
• Subjects:Mathematical models Fuzzy sets Integral equations Feature fusion Optimization algorithm
• Palabras claves:Evaluación; Amortiguación de aire en película comprimida; Dispositivos MEMS dinámicos; Soluciones analíticas; Ecuación de Reynolds; Efecto de borde
• Keywords:Evaluation; Squeezed film air damping; Dynamic mems devices; Analytical solutions; Reynolds equation; Border effect