El método de análisis homotópico (HAM) se emplea para proponer un enfoque para resolver el sistema dinámico no lineal de un micro-cantilever actuado electrostáticamente en MEMS. Hay dos méritos relativos del HAM presentado en comparación con algunos procedimientos habituales del HAM. En primer lugar, se construye un nuevo operador lineal auxiliar. Este operador hace innecesaria la eliminación de términos seculares. Además, todas las ecuaciones de deformación son puramente lineales. Los ejemplos numéricos muestran la excelente concordancia de las soluciones obtenidas con las numéricas. Se analizan detalladamente los efectos respectivos de la tensión aplicada, la rigidez cúbica no lineal, la distancia de separación y la amortiguación de la película de compresión en las respuestas de vibración.
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