Resumen

Se ha demostrado un proceso de tres pasos para mejorar el rendimiento del fotodiodo mediante la creación de un bosque de nanoconos en la superficie del fotodiodo como capa antirreflectante. Se ha demostrado que este proceso de alto rendimiento y bajo coste reduce la reflectividad en un 66,1%, mejora la eficiencia cuántica en un 27% y aumenta la capacidad de respuesta en un 25,7%. Este proceso de fabricación de bajo coste puede aplicarse para aumentar la capacidad de respuesta de los dispositivos fotónicos basados en silicio.

• Materias:Biotecnología Nanotecnología Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Nanotechnology Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:proceso de fabricación de coste, fotodiodo, responsividad, capa antirreflectante, proceso de coste, bosque de nanoconos, dispositivos fotónicos, eficiencia cuántica, proceso escalonado, rendimiento
• Keywords:cost manufacture process, photodiode, responsivity, antireflection layer, cost process, nanocone forest, photonic devices, quantum efficiency, step process, performance