Resumen

Este trabajo presenta un nuevo método Galerkin de interpolación wavelet para la simulación numérica de dispositivos MEMS bajo el efecto del amortiguamiento de la película de compresión. Tanto las funciones de prueba como las de peso son una clase de funciones interpolantes generadas por autocorrelación de las habituales funciones de escala de Daubechies compactamente soportadas. Hasta donde sabemos, es la primera vez que se utilizan wavelets como funciones de base para resolver las EDP de dispositivos MEMS. A diferencia de los métodos anteriores basados en wavelets, todos ellos limitados a un dominio de energía, los dispositivos MEMS del artículo implican dos dominios de energía acoplados. Para ilustrar el nuevo método Galerkin de interpolación wavelet, se examinan dos típicos microdispositivos accionados eléctricamente con efecto amortiguador de película de compresión. Los resultados de la simulación muestran que los resultados del método Galerkin de interpolación de ondículas se ajustan a los datos experimentales mejor que los del método de diferencias finitas en aproximadamente un 10%.

• Materias:Análisis Matemático Álgebra Ingeniería Matemática aplicada Lógica matemática
• Subjects:Mathematical Analysis Algebra Engineering Applied Mathematics Mathematical logic
• Palabras claves:nuevo método galerkin de interpolación wavelet, dispositivos mems, método galerkin de interpolación wavelet, método de diferencias finitas, amortiguación de película comprimida, efecto, funciones, artículo, resultados de simulación, funciones de base
• Keywords:new wavelet interpolation galerkin method, mems devices, wavelet interpolation galerkin method, finite difference method, squeeze film damping, effect, functions, paper, simulation results, basis functions