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Highly Reliable Method to Obtain a Correlation Coefficient Unaffected by the SEM Noise Component for Examining the Degree of Specimen Damage due to Electron Beam IrradiationMétodo altamente fiable para obtener un coeficiente de correlación no afectado por el componente de ruido del SEM para examinar el grado de daño de la muestra debido a la irradiación del haz de electrones

Resumen

Un coeficiente de correlación se utiliza frecuentemente como medida de la fuerza de una relación lineal (es decir, el grado de similitud) entre dos conjuntos de datos en una variedad de campos. Sin embargo, en el campo de la microscopía electrónica de barrido (SEM, por sus siglas en inglés), a menudo es difícil utilizar adecuadamente el coeficiente de correlación porque las imágenes de SEM generalmente incluyen un ruido severo, que afecta la medición de este coeficiente. El estudio actual describe un método para obtener un coeficiente de correlación que no se ve afectado por el ruido de SEM en principio. Este coeficiente de correlación se obtiene a partir de un total de cuatro imágenes de SEM, que comprenden dos conjuntos de dos imágenes con vistas idénticas, mediante el cálculo de varios valores de covarianza. Experimentos numéricos confirman que los coeficientes de correlación medidos obtenidos utilizando el método propuesto para imágenes ruidosas son iguales a los de imágenes sin ruido. Además, el método presente puede combinarse con un alineamiento de posición altamente preciso y resistente

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