Resumen

Se cultivaron películas delgadas de bicapa de Mo/Si mediante pulverización catódica por magnetrón y se aplicaron a discos Blu-ray de una sola escritura (BD-R). Se investigaron las microestructuras y las propiedades de almacenamiento óptico de la bicapa de Mo/Si. A partir de la medición de la reflectividad en función de la temperatura, se observó que se producía un cambio de fase en el intervalo de 255-425 ºC. El análisis por microscopía electrónica de transmisión mostró que la película depositada poseía una fase policristalina de Mo. Las fases hexagonal MoSi2 y cúbica Mo3Si aparecieron tras el recocido a 300 y 450°C, respectivamente. Mediante la medición de la reflectividad óptica a una longitud de onda de 405 nm, el contraste óptico de la bicapa Mo/Si entre los estados as-deposited y 450°C-annealed se evaluó a 25,8%. El valor óptimo de fluctuación del 6,8% se obtuvo a 10,65 mW para una velocidad de grabación de 4×. Las pruebas dinámicas demuestran que la bicapa de Mo/Si tiene un gran potencial en aplicaciones de BD-R.

• Materias:Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanomateriales Nanosensores
• Subjects:Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanomaterials Nanosensors
• Palabras claves:bicapa de si, análisis por microscopía electrónica de transmisión, fases cúbicas de mo3si, propiedades de almacenamiento óptico, valor óptimo de jitter, r aplicaciones, pruebas dinámicas, mosi2 hexagonal, alto potencial, contraste óptico
• Keywords:si bilayer, transmission electron microscopy analysis, cubic mo3si phases, optical storage properties, optimum jitter value, r applications, dynamic tests, hexagonal mosi2, high potential, optical contrast