Resumen

Este trabajo tiene como objetivo investigar las características dinámicas de un microring impulsado por electrodos de arco doble porque son elementos básicos de motores microelectrostáticos. Los electrodos de arco doble rodean la periferia del microring y están dispuestos simétricamente respecto al centro del anillo. Los electrodos están fijos mientras que el microring es flexible. La fuerza electrostática deformará el microring, mientras que la deflexión del microring cambia la distancia entre el microring y los electrodos, modificando así la fuerza electrostática. Por lo tanto, esto es un efecto de acoplamiento electromecánico. La ecuación diferencial parcial no lineal que rige el movimiento del microring se deriva basándose en la teoría de capas delgadas. Luego, basándose en la suposición de una pequeña deflexión, la ecuación de gobierno no lineal se linealiza truncando los términos de orden superior de la serie de Taylor de la fuerza electrostática no lineal. Después, la ecuación de gobierno

• Materias:Funciones Flujo de información Estudio de población Modelado de sistemas Modelo de campo
• Subjects:Functions Information flow Population study System modeling Field model
• Palabras claves:Investigando; Microring; Electrodos de arco dual; Fuerza electrostática; Ecuación diferencial parcial no lineal; Amortiguamiento estructural
• Keywords:Investigating; Microring; Dual arch electrodes; Electrostatic force; Nonlinear partial-differential equation; Structural damping